Cel rutenowy

Przeciwutleniacz,-odporny na korozję i tworzący równomiernie-powłokę, zapewniający wysoce niezawodne rozwiązanie do osadzania-cienkiej warstwy do zastosowań w półprzewodnikach i przechowywaniu danych.

Tarcza do napylania rutenu to tarcza do napylania metali szlachetnych z grupy platynowców, wytwarzana z rutenu o wysokiej czystości (Ru) w procesie rafinacji, topienia, kucia i precyzyjnej obróbki. Stosowany jest głównie w procesach napylania magnetronowego metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD). Produkt ten charakteryzuje się wysoką temperaturą topnienia, wysoką twardością, doskonałą odpornością na utlenianie i stabilnością chemiczną, umożliwiając wytwarzanie jednolitych i gęstych filmów rutenu. Znajduje szerokie zastosowanie w zaawansowanej pamięci półprzewodnikowej, połączeniach układów scalonych, warstwach barier dyfuzyjnych oraz urządzeniach do przechowywania i wyświetlania danych.

Wyślij zapytanie

Opis produktu

Ta seria tarcz rutenowych jest wytwarzana z surowców rutenowych-o wysokiej czystości, co pozwala uzyskać wysoką gęstość i jednolitą mikrostrukturę w procesie topienia łukowego i rozdrobnienia ziarna. Produkty są dostępne w różnych konfiguracjach, w tym z tarczami planarnymi i tarczami obrotowymi, i obsługują usługi płyty tylnej z wiązaniem indowym/elastycznym-, dzięki czemu nadają się do zastosowań z napylaniem DC.

Funkcja

Konwencjonalny gatunek o wysokiej czystości, dostępny w specyfikacjach-bardzo wysokiej czystości.
Wysoka twardość, doskonała odporność na zużycie oraz doskonała odporność na utlenianie i korozję.

Zbyt wysoka temperatura topnienia przy doskonałej-stabilności temperaturowej.
Folia charakteryzuje się równomiernym osadzaniem i dużą gęstością, dzięki czemu nadaje się do zaawansowanych procesów produkcji półprzewodników.

Dane techniczne i modele

W przypadku niestandardowych wymiarów, grubości, czystości lub specyfikacji technicznych, prosimy o kontakt. Możemy zapewnić dostosowane rozwiązania materiałowe w oparciu o sprzęt do napylania, wymagania dotyczące powłok i specyfikacje wymiarowe.

Wymiar klasyfikacji	Typ produktu	Podstawowe funkcje
Stopień czystości	Różne stopnie czystości	Ogólne-zastosowanie w półprzewodnikach, wyświetlaczach i urządzeniach pamięci.
Format produktu	Okrągła planarna tarcza rutenowa	Standardowe specyfikacje, kompatybilne z większością urządzeń do napylania.
	Tarcza rutenowa w kształcie prostokąta/bloku-	Nadaje się do powlekania-dużych powierzchni.
	Obrotowy cel rutenowy	Nadaje się do osadzania-dużych powierzchni i-wysokiej wydajności.

Aplikacja

Półprzewodniki: elektrody kondensatorowe DRAM/MIM, wzajemne warstwy bariery dyfuzyjnej.
Zaawansowane przechowywanie: pamięć magnetyczna,-pamięć ze zmianą fazy, pamięć rezystancyjna.
Układ scalony: miedziana warstwa zarodkowa, warstwa barierowa i urządzenie logiczne.
Urządzenia wyświetlające: wyświetlacze-z płaskim panelem, elektrody cienkowarstwowe OLED.
Optoelektronika i fotowoltaika: powłoki optyczne, warstwy funkcjonalne ogniw fotowoltaicznych.
Precyzyjna elektronika:-odporne na zużycie styki elektryczne, rezystory grubowarstwowe-, czujniki.

Popularne Tagi: cel rutenowy, Chiny producenci, dostawcy, fabryka celu rutenowego